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掩膜版主要生產流程
掩膜版生產工藝流程主要包括CAM圖檔處理、光阻涂布、激光光刻、顯影、蝕刻、脫膜、清洗、宏觀檢查、自動光學檢查、精度測量、缺陷處理、貼光學膜等環節。
2023-04-01
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掩膜版概述
掩膜版是微電子制造過程中的圖形轉移母版
2023-04-01
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