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掩膜版主要生產流程
發布時間:2023-04-01 14:44:05| 瀏覽次數:
掩膜版生產工藝流程主要包括CAM圖檔處理、光阻涂布、激光光刻、顯影、蝕刻、脫膜、清洗、宏觀檢查、自動光學檢查、精度測量、缺陷處理、貼光學膜等環節。
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